普达特科技(00650.HK) +0.006 (+2.956%) 公布,今日(10日)向客户发出OCTOPUS平台半导体湿法清洗设备。该等设备订单的收入暂未确认。
OCTOPUS湿法处理平台配置16个腔体,适用於有大规模量产需求以及追求最大化的单位时间晶圆产出的客户。OCTOPUS平台设备的腔体和化学药液供应系统采用同垂直面阵列布局,在提供高产能的同时也能保证最佳的化学药液回收效率;另提供多种晶圆Chuck配置方案,满足客户晶圆单面清洗、双面清洗、边缘清洗和刻蚀等定制化需求。
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该等产品为单片晶圆清洗设备,其设计用於矽晶圆清洗,以去除任何黏附颗粒及有机/无机杂质。(jl/s)(港股报价延迟最少十五分钟。)
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